Lithographie : Samsung Electronics lance la production en 7 nm : Page 2 of 2

31 octobre 2018 //Par A.Dieul
Lithographie : Samsung Electronics lance la production en 7 nm
Samsung Electronics Co., Ltd. a achevé toutes les étapes du développement de la technologie de gravure et lancé la production des wafers de son nœud de gravure révolutionnaire 7LPP (7 nm Low Power Plus) avec la technologie de lithographie par rayonnement ultraviolet extrême .
de 50 %.

La voie de la technologie EUV 

Samsung a, depuis ses débuts en recherche et développement de l’EUV dans les années 2000, réalisé des progrès remarquables en collaborant en partenariat avec des fournisseurs d’outils de premier plan. La société a ainsi pu concevoir et installer de tout nouveaux équipements dans ses sites de production et assurer la stabilité des wafers gravés en EUV. Samsung a lancé la production en EUV dans son usine S3 à Hwaseong, en Corée.

D'ici 2020, Samsung prévoit d’assurer une capacité supplémentaire avec la nouvelle ligne EUV pour les clients ayant besoin de fabriquer leurs conceptions de puces de nouvelle génération en grande série. En tant que pionnier de l’EUV, Samsung a également développé des fonctionnalités exclusives, telles qu'un outil unique d'inspection des masques. Ce dernier détecte rapidement les défauts des masques EUV, ce qui permet ainsi de les éliminer au début du cycle de fabrication.

www.samsungfoundry.com  

 

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