CICLOP : un nouveau laboratoire à Caen pour développer l’électronique du futur

12 août 2020 //Par CEA
Un CICLOP dans le nanomonde : un nouveau laboratoire pour développer l’électronique du futur
Concevoir de nouvelles sources de faisceaux d’ions pour explorer le nanomonde et développer des technologies et applications pour l’électronique du futur : telle sera la mission de CICLOP.

Un nouveau laboratoire commun, financé par l’Agence nationale de la recherche (ANR), associant le CEA, le CNRS, l’ENSICAEN, l’Université de Caen Normandie, et l’entreprise ORSAY PHYSICS. CICLOP sera implanté, dans l'unité du CEA-Iramis, au Centre de recherche sur les ions, les matériaux et la photonique (CIMAP) à Caen. 

Les travaux menés dans le cadre de CICLOP porteront sur l’amélioration et le développement de nouvelles sources de faisceaux d'ions focalisés (FIB : Focused Ion Beam). Cet outil incontournable dans le domaine des semi-conducteurs, des matériaux, des sciences de la terre et de la vie, permet d’élaborer, modifier, analyser, comprendre et valider de nouveaux concepts à l’échelle du nanomètre. Ce type de source émet des ions et les focalise sur un échantillon étudié. Sous l'impact des ions, un dépôt de matière ou de la gravure peuvent être réalisé. C'est aussi l'outil idéal pour l'implantation ionique permettant un dopage localisé du matériau, ou encore pour réaliser des modifications structurales contrôlées. Avoir une source d'ions de très grande qualité est aussi indispensable pour toutes les techniques d'imagerie par émissions secondaires.

La collaboration autour du laboratoire CICLOP (pour CIMAP Common Laboratory with Orsay-Physics)  travaillera de façon ciblée pour augmenter les brillances de sources d’ions, l’optimisation des optiques de transport et de focalisation des ions, ainsi que sur la conception de nouveaux détecteurs pour obtenir des images avec une meilleure sensibilité. Les innovations résultant de ces travaux communs doivent répondre aux besoins concrets des industriels et laboratoires. Pour cela, les partenaires du laboratoire CICLOP développeront des solutions technologiques originales et innovantes, issues des expertises respectives et complémentaires de chacun. Outre le marché des systèmes utilisant les faisceaux d’ions focalisés (FIB), connu au niveau international par la société Orsay Physics, CICLOP permettra d’intéresser de nouveaux marchés, tels que ceux liés à la quantronique et l’électronique du futur..

CEA

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